B GIO DC V O TO TRNG I HC BCH KHOA H NI Nguyễn thị phơng TấN TI LUN VN Nghiên cứu công nghệ đo máy CMM Chuyờn ngnh : Cơ khí Chính xác Quang học LUN VN THC S KHOA HC Cơ khí Chính Xác Quang học NGI HNG DN KHOA HC : Ts Nguyễn Văn Vinh H Ni Nm2010 Lời cam doan Tôi xin cam đoan kết có Luận văn thân thc dới hớng dẫn thầy giáo TS Nguyễn Văn Vinh Ngoài phần tài liệu tham khảo đợc liệt kê, số liệu kết thực nghiệm trung thực cha đợc công bố công trình khác Hà nội, tháng 10 năm 2010 Ngời thực Nguyễn Thị Phơng i LI Cảm ơn Trong thời gian thực đề tài, tác giả nhận đợc quan tâm lớn từ nhà trờng, thầy cô giáo môn Cơ khí xác Quang học.Tác giả xin chân thành cảm ơn đến khoa sau đại học, giáo viên giảng dạy tạo điều kiện cho ngời viết hoàn thành luận văn Tác giả xin bày tỏ lời cảm ơn chân thành đến TS.NguyễnVăn Vinh, Trờng Đại Học Bách Khoa Hà Nội tận tình hớng dẫn trình thực Luận văn Tác giả xin chân thành cảm ơn Trung tâm đo lờng quân đội anh chị trung tâm tạo điều kiện thiết bị giúp đỡ trình sử dụng thiết bị để thực Luận văn Tác giả cảm kích trớc ý kiến đóng góp thầy cô giáo thuộc môn khí Chính xác Quang học tạo điều kiên thuận lợi giúp đỡ tác giả tháo gỡ vớng mắc thời gian thực luận văn Mặc dù cố gắng, song kiến thức kinh nghiệm hạn chế chắn Luận văn không tránh khỏi thiếu sót Tác giả mong nhận đợc ý kiến đóng góp từ thầy cô giáo để Luận văn đợc hoàn thiện có ý nghĩa thực tiễn Hà Nội, tháng 10 năm 2010 Xin chân thành cảm ơn! Ngời thực Nguyễn Thị Phơng i MụC LụC Trang phụ bìa Lời cam đoan i Danh mục chữ viết tắt ii Danh mục bảng iii Danh mục hình vẽ đồ thị .iv Mục lục v Tóm tắt kết nghiên cứu viii Lời cảm ơn xii Phần mở đầu Chơng I: phơng pháp ba toạ độ đo thông số hình học chi tiết máy 1.1 Phơng pháp đo tọa độ cho chi tiết máy 1.2.Phơng pháp đo toạ độ tiếp xúc khí 1.3 Giới thiệu máy đo tọa độ CMM 1.4 Hệ thống tọa độ máy CMM 1.5 Các thành phần máy đo CMM ( Mitutoyo QM- Measure 333) 1.5.1 Cấu hình hệ thống máy đo CMM 1.5.2 Các phận máy 1.5.2.1 Bàn đo .9 1.5.2.2 Cụm điều chỉnh khí áp .9 1.5.2.3 Cụm gá lắp đầu đo 10 1.5.2.4 Cụm xử lý liệu đo .10 1.5.2.5 Bộ đo bù nhiệt 11 1.6.Các đặc điểm CMM: 15 1.7.Giới thiệu số máy đo CMM đợc dùng Việt Nam giới.17 1.7.1 Máy CMM dùng cho phòng thí nghiệm- Máy CMM LK V-SL 17 1.7.2.Máy đo tọa độ RAPID hãng ThomeProzision 18 1.7.3 Máy đo tọa độ Bright- Strato CNC CMM hãng Mitutoyo 19 1.8 Máy đo CNC Beyond Crysta C544 - BLNC-544 21 1.9.Kết luận 21 Chơng II: Phơng pháp xử lý số liệu đo máy đo CMM 22 2.1 Lý xử lý số liệu đo máy CMM 22 2.2.Một số phần mềm thông dụng .23 2.2.1 Phần mềm đo vạn cho mục đích chung UMESS .23 2.2.2.Phần mềm UMESS bổ xung 23 2.2.3.Phần mềm phân tích thống kê SAM 24 2.2.4 Chơng trình chi tiết độc lập ACE 24 2.2.5.Phần mềm đo đờng cong KUM 24 2.2.6.Phần mềm để đo bề mặt cong HOLOS .25 2.2.7.Phần mềm giao tiếp liệu DATACOM 25 2.2.8 Một số phần mềm thờng dùng máy Mitutoyo 25 2.3 Biểu diễn toán học mặt bậc hai 26 2.3.1 Phơng trình tổng quát mặt bậc hai 27 2.3.2 Phơng trình bề mặt khí thờng gặp 27 2.3.2.1 Mặt phẳng: 27 2.3.2.2 Mặt cầu: 27 2.3.2.3 Mặt trụ 28 2.4 Xây dựng thuật toán để xác định thông số bề mặt từ điểm đo nhận đợc đo máy đo ba tọa độ .28 2.4.1.Phơng pháp bình phơng nhỏ 28 2.4.2 Xây dựng thuật toán 28 2.4.2.1.Xác định phơng trình tổng quát bề mặt bậc 28 2.4.2.2 Xác định phơng trình mặt phẳng phơng pháp bình phơng nhỏ 31 2.4.2.3.Phơng pháp xác định bán kính cầu độ cầu đo máy đo ba tọa độ: 35 2.4.2.4 Thuật toán xác định bán kính trụ độ trụ 40 Chơng MộT Số KếT QUả NGHIÊN CứU Về Độ CHíNH XáC PHéP ĐO TRÊN MáY ĐO BA TọA Độ CMM 48 3.1 Cơ sở lý thuyết thực nghiệm 48 3.2 Phơng pháp thực nghiệm 49 3.3 Thiết bị đo 50 3.3.1.Đánh gía độ xác phép đo mẫu .50 3.3.2.Đánh giá độ xác phép đo đờng kính mẫu lỗ 50.002mm No 177-146 Japan hãng Mitutoyo54 Chơng 4: kết luận chung phơng pháp bù sai số máy CMM 62 4.1 Phơng pháp bù sai số máy CMM .62 4.2.Vấn đề kỹ thuật lựa chọn mua máy CMM 65 4.3 Hạn chế máy đo tọa độ CMM 66 Kết luận Chung 67 DANH MụC CáC CHữ VIếT TắT CMM Coordinate Measuring Machine Máy o to chiu Co-or Sys Coordinate System H to CNC Computer Numerical Control iu khin s bng máy tính CAQ Computers Aided QualityControl Kiểm tra chất lợng sản phẩm CAD Computer Aided Design CAM Computer Aided Manufacturing Thiết kế với trợ giúp máy tính Sản xuất có trợ giúp 3D Dimension I/O Input/Output CAP Computer Aided Planning máy tính chiu Vào/ Lập kế hoạch có trợ giúp máy tính ii DANH MụC CáC BảNG, biểu đồ Bảng 1.1 Tên chức phận cụm điều chỉnh áp Bảng 1.2 Điều kiện làm việc máy cho bớc đo tiêu chuẩn Bảng 1.3 Điều kiện làm việc máy cho chức bù nhiệt Bảng 1.4 Phạm vi đo trục Bảng 1.5 Độ xác hệ đo Bảng 1.6 Các thông số kỹ thuật máy CMMLKV-SL Bảng 1.7 Các thông số kỹ thuật máy đo RAPID CMM Bảng 1.8 Các thông số kỹ thuật máy đo Strato CMM Biểu đồ đo mẫu: Biểu đồ 3.1 Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo( = ) máy Beyond 504 Biểu đồ 3.2 Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo( = 15 ) máy Beyond 504 Biểu đồ 3.3 Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo( = 30 ) máy Beyond 504 Biểu đồ 3.4 Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo( = 45 ) máy Beyond 504 Biểu đồ 3.5 Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo( = ) máy Beyond Crysta544 Biểu đồ 3.6 Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo( = 15 )Crysta544 Biểu đồ 3.7 Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo( = 30 )Crysta544 Biểu đồ 3.8 Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo( = 45 )Crysta544 Biểu đồ đo Bạc Biểu đồ 3.9 Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo máy Beyond 504 Biểu đồ 3.10 Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo máy Beyond 504 Biểu đồ 3.11 Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo Crysta544 Biểu đồ 3.12 Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo Crysta544 iii DANH MụC CáC HìNH Vẽ, Đồ THị Hình 1.1: Hệ tọa độ máy hệ tọa độ phận Hình 1.2: Mô hình máy đo ba toạ độ Hình 1.3: Sơ đồ khối Hệ đo QM Hình 1.4: Cấu tạo máy đo Mitutoyo Hình 1.5: Sơ đồ cụm điều chỉnh áp suất Hình 1.6: Gá lắp đầu đo tín hiệu tiếp xúc Hình1.7: u o dn ng bng ng c Hình 1.8 u o bng tay Hình 1.9 Mô hình máy CMM LKV-SL Hình 1.10:Mô hình máy đo RAPID Hình 1.11 Máy đo CNC CMM hãng Mitutoyo Hình 1.12 Mặt phẳng không gian Hình 1.13 Mặt cầu không gian Hình 1.14 Mặt trụ không gian iv PHầN Mở ĐầU Trong nhng nm u thp k 90 cỏc lnh vc cụng ngh tin hc, in t, in t s, t ng hoỏ phỏt trin mónh m trờn th gii Vic ng dng cỏc lnh vc trờn v thc hin sn xut ó to iu kin nõng cao nng xut lao ng Nhng thnh tu ú ó c ng dng cỏc mỏy NC, CNC, CMM ln lt i Nh s ghộp ni thnh cụng gia mỏy tớnh v mỏy đo tọa độ ó cho i cỏc thit b o ta vi nhng u im vt tri nh kh nng t ng thu nhp s liu o t cỏc trc ta v truyn thng vo mỏy tớnh, lu tr v s lý s lng thụng tin ln thụng tin o, a kt qu o nhanh chúng, chớnh xỏc theo cỏc chng trỡnh phn mm ó c nh sn Mỏy o ta cú th xỏc nh kớch thc, hỡnh dỏng, sai s v trớ rừ rng, chớnh xỏc v nhanh chúng vi kh nng tip cn i tng o phong phỳ, ng thi t b ta im o cú th dng li b mt khụng gian ca vt o tr giỳp cho quỏ trỡnh to mu v gia cụng sn phm Ngoi o trờn mỏy o ta cũn gim c cỏc khú khn v gỏ t Mỏy o ta cú kh nng t chớnh xỏc cao, chớnh xỏc mi trc c 0,1àm hoc cao hn na t c chớnh xỏc nh vy ph thuc rt nhiu vo cỏc yu t nh cu to ca mỏy, phn mm, tay ngh o, cụng ngh o cng nh hng rt ln n quỏ trỡnh o trờn mỏy CMM Hin vic trang b mỏy o ta đợc sử dụng rộng rãi cỏc lnh vc nh: c s sn xut, phũng thớ nghim, quõn i song vấn đề giảm đợc yếu tố ảnh hởng nh phơng đo, số điểm đo đến độ xác phép đo máy đo ba tọa độ Chớnh vỡ lý ú m ti Nghiờn cu cụng ngh o trờn mỏy CMM úng gúp mt phn khụng nh to chớnh xỏc quỏ trỡnh o c Đo theo phơng =300 Biểu đồ3.8: Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo 0 10 12 -0.001 Sai s -0.002 -0.003 -0.004 -0.005 -0.006 S ln o Sai số trung bình cộng = -4,36( àm ) Nhận xét: Lần lợt đo kích thớc ta thu đợc giá trị nh biểu đồ 3.3 Sự phân tán kích thớc= max = -0,0032 +0,0053=2,1( àm ) d Đo theo phơng =450 Biểu đồ3.9: Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo -0.0005 -0.001 Sai s -0.0015 -0.002 -0.0025 -0.003 -0.0035 -0.004 -0.0045 S ln o Sai số trung bình = -3,54( àm ) 57 10 12 Nhận xét: Lần lợt đo kích thớc ta thu đợc giá trị nh biểu đồ 3.3 Sự phân tán kích thớc= max = -0,0029 + 0.0004 =1,5( àm ) góc độ 15 độ 30 độ 45 độ Máy 504 1,69 1,9 7,1 1,62 Máy 544 -4.52 -5.67 -4.36 -3.54 Nhận xét chung đo mẫu: * Trong chi tiết đo nh nhau, ta thấy đo máy CNC Beyond Crysta 544 cho sai số trung bình phân tán kích thớc nhỏ nhiều so với máy CNC Beyond 504 Sự khác máy CNC Beyond544 có độ ổn định máy cao phần mềm tính toán đại * Khi ta thay đổi góc đo từ độ đến 45 độ ta thấy phơng đo ảnh hởng không đáng kể đến độ xác phép đo Trong trình đo coi không ảnh hởng 3.3.2.Đánh giá độ xác phép đo đờng kính mẫu lỗ 50.002mm No 177-146 Japan hãng Mitutoyo A Thực nghiệm máy CNC Bayond 504 Độ xác lý thuyết là: + * 50 3L = 3+ = 3,15àm 1000 1000 a.Khi lấy điểm đo đờng tròn Biểu đồ3.2: Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo 0.015 0.01 Sai s 0.005 0 -0.005 -0.01 -0.015 S ln o 58 Sai số trung bình cộng = 1,7( àm ) Nhận xét: Lần lợt đo kích thớc ta thu đợc giá trị nh biểu đồ 3.3 Sự phân tán kích thớc= max = 0.0014-0.0011 =0.0003=0,3( àm ) b Khi lấy điểm đo 1/2 đờng tròn Biểu đồ3.5: Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo 0 -0.05 Sai s -0.1 -0.15 -0.2 -0.25 S ln o Sai số trung bình cộng =- 2,28( àm ) Nhận xét: Lần lợt đo kích thớc ta thu đợc giá trị nh biểu đồ 3.3 Sự phân tán kích thớc= max = -0,0034 + 0.0023 =-1.1( àm ) B Thực nghiệm máy CNC Bayond 544 Độ xác lý thuyết là: 2.2 + * 50 4L = 2.2 + = 2.6àm 1000 1000 59 a.Khi lấy điểm đo đờng tròn Biểu đồ3.6: Biểu thị giá trị sai số theo số lần đo 0.005 0.004 0.003 Sai s 0.002 0.001 -0.001 -0.002 -0.003 -0.004 S ln o Sai số trung bình cộng =- 1.34( àm ) Nhận xét: Lần lợt đo kích thớc ta thu đợc giá trị nh biểu đồ 3.3 Sự phân tán kích thớc= max = 0.0004- 0.0033 =-0.0029=-0.29( àm ) b.Khi lấy điểm đo 1/2 đờng tròn -0.0005 Sai s -0.001 -0.0015 -0.002 -0.0025 -0.003 -0.0035 S ln o Sai số trung bình =-1.29( àm ) Nhận xét: Lần lợt đo kích thớc ta thu đợc giá trị nh biểu đồ 3.3 Sự phân tán kích thớc= max = -0,0022+0.0033 =0.0011=1,1( àm ) 60 Nhận xét: Khi đo đờng tròn độ xác cao nửa đờng tròn Điều đo khẳng định rằng: Điểm chạm có ảnh hởng lớn đến độ xác đo Kết luận chơng 3: Qua số thí nghiệm ta nhận thấy có phơng đo ảnh hởng đến độ xác đo mà điểm chạm độ ổn định máy ảnh hởng đến kết đo 61 Chơng Kết luận phơng pháp bù sai số đo máy CMM Một số nhận xét ta thấy máy đo ba tọa độ có độ ổn định thấp, điều ảnh hởng không nhỏ đến độ xác đo.Vậy để đạt đợc hiệu cao sử dụng máy CMM ta phải hiệu chuẩn máy 4.1 Bù sai số máy CMM a Trớc hiệu chuẩn ta phải kiểm tra tính đo * Kiểm tra độ vuông góc trục : XY, YZ, ZX cách đo hai hớng góc sau tính khoảng cách đờng thẳng so sánh với dụng cụ kiểm tra chuẩn độ vuông góc Kiểm tra độ vuông góc trục XY Kiểm tra độ vuông góc trục ZY Kiểm tra độ vuông góc trục ZX 62 * Kiểm tra độ xác trục: XY, YZ, ZX Bằng ta kiểm tra năm vị trí sau: Vị trí đợc kiểm tra hớng song song với trục X nh hình ve mẫu chuẩn Phải kiểm tra lần vị trí quy định đo chiều dài CMM Kiểm tra độ xác trục Y vị trí 2: vị trí đợc kiểm tra theo hớng song song với trục Y Kiểm tra độ xác trục Z vị trí 3: vị trí đợc kiểm tra theo hớng song song với trục Z b Kiểm chuẩn theo tiêu chuẩn ISO 10 360-2 * Sai số đo kích thớc không gian thể tích V: 63 Ngời ta dùng năm mẫu , chiều dài đợc đo lần bẩy vị trí không gian Tổng số phép đo = 5*3*7 = 105 100% kết đo phải đợc kiểm tra Ví dụ đo đờng thăng, đờng kính dung sai vị trí * Sai số kích thớc cầu chuẩn phải đo 25 điểm: Sai số hình dáng P=Rmax Rmin = độ cầu ví dụ nh đo hình dạng tự do, độ thẳng, độ phẳng, độ tròn , độ trụ 64 4.2 Vấn đề kỹ thuật lựa chọn mua máy CMM Công tác quản ký bảo đảm chất lợng hoạt động sản xuất gia công đại ngày càmg sử dụng nhiều thiết bị đo tọa độ (CMM) Trong vòng 20 năm qua, máy CMM dần thay phơng pháp kiểm tra truyền thống sử dụng thớc đo gá kẹp, giúp giảm thời gian nhân lực hoạt động quản lý chất lợng Các máy CMM khả kiểm tra kích thớc hình học tiêu chuẩn mà áp dụng cho nhiều chi tiết đặc biệt nh bánh răng, trục khuỷu mà môi trờng sản xuất truyền thống, công việc kiểm tra đòi hỏi thiết bị đo kiểm chuyên dụng Quá trình quản lý chất lợng không phụ thuộc vào chất lợng hệ thống mà phụ thuộc vào độ xác, tin cậy thiết bị đo, kiểm Trong giới hạn luận văn muốn đa số kinh nghiệm giúp ngời tiêu dùng lựa chọn đợc máy đo tọa độ CMM đáp ứng yêu cầu xác ứng dụng chuyên biệt Yếu tố quan trọng xác định phạm vi đo tối thiểu máy Nhìn chung phạm vi đo phụ thuộc kích thớc vật thể cần đo, nhng có số trờng hợp không tuân thủ quy tắc Ví dụ nh chi tiết có độ phức tạp, đòi hỏi nối mở rộng đầu dò đồ gá kẹp Phạm vi đo tối thiểu thực tế cần thiết phải lớn nhiều kích thớc vật đo Máy CMM có kích thớc hợp lý nên đợc lựa chọn có hành trình trục X,Y,Z lớn gấp hai lần chiều dài, rộng cao tối đa chi tiết cần đo Yếu tố quan trọng thứ hai độ bất định đo lờng cần thiết tối thiểu Các số bất định quy trình kiểm tra cho máy tọa độ đợc quy định tiêu chuẩn ISO 10360-2 Một số nhà sản xuất máy CMM không theo tiêu chuẩn ISO 10360-2, mà áp dụng tiêu chuẩn khác nh :CMMA, B89, VDI/VDE 2617 JIS Do để so sánh thông số máy CMM nhà sản xuất khác ta đánh giá chúng mặt Nhìn 65 chung để đáp ứng yêu cầu khách hàng thị trờng toàn cầu, hầu hết nhà sản xuất máy CMM cung cấp bảng thông số theo tiêu chuẩn khác để tiện tham khảo Và tiêu chuẩn ISO10360-2 đợc coi tiêu chuẩn chung toàn cầu Độ ổn định máy CMM phụ thuộc vào điều kiện môi trờng làm việc Do nhà sản xuất máy CMM thờng quy định phạm vi nhiệt độ môi trờng làm việc, dải thay đổi nhiệt độ giờ, ngày mét; phạm vi máy CMM đạt đợc thông số hoạt động quy định Do đo cần ý đến yếu tố biên độ lựa chọn máy CMM phù hợp Ngoài mức ổn định ( không bị rung chấn) đặt máy quan trọng để tối u hoá hoạt động máy CMM Hầu hết nhà sản xuất cung cấp thông số độ rung tối đa mà máy chịu đợc mà đáp ứng đợc yêu cầu kỹ thuật quy định, mặt khác ta đặt mua hệ thống giảm chấn máy hoạt động môi trờng có khả rung chấn, tốt trớc mua máy nên nghiên cứu cách tổng thể độ rung chấn môi trờng lắp máy Tất máy CMM đợc cung cấp hệ thống phần mềm thực công việc đo bản, số đợc cung cấp phần mềm để đo chi tiết có hình dáng phức tạp nh bánh răng, côn xoắn, trục vít đảm bảo bạn hiểu rõ độ phức tạp vật đo để lựa chọn gói phần mềm phù hợp Ngoài lựa chọn số lợng, kiểu đầu dò, hệ thống gá kẹp thiết bị phụ trợ để khai thác tối u hoạt động máy CMM 4.3 Hạn chế máy đo tọa độ CMM * Muốn đo kích thớc lớn nh cánh tua bin gió, thân vỏ ô tô gặp nhiều khó khăn *Muốn đo độ xác bề mặt cong chiều phải đo nhiều điểm tốn nhiều thời gian *Đầu đo nhiều 66 Để khắc phục hạn chế này, giới chuyển sang công nghệ kiểm tra dựa thành tựu thiết bị quét ba chiều Kết luận chung Phơng pháp đo phơng pháp gián tiếp nên độ xác phụ thuộc vào phần mềm sử lý số liệu, độ ổn định máy, phơng đo không gian Qua nghiên cứu khảo sát ban đầu phơng pháp đo thiết bị đo ba tọa độ, thực thực nghiệm đo hai máy mitutoyo beyond 544 bà máy mitutoyo504 Đã tìm thấy số vấn đề ảnh hởng đến độ xác phơng pháp đo nh độ ổn định máy mãi Do cần phải hiệu chỉnh thờng xuyên Số điểm chạm mặt chuẩn, mặt đo phụ thuộc vào độ xác chi tiết đo Số điểm đo ảnh hởng đến độ xác đo Phơng đo không gian ảnh hởng đến độ xác Việc nghiên cứu để xác định trình đo hợp lý cần thiết Do hoàn cảnh không chủ động đợc máy đo nên kết luận văn dừng số kiểm chứng ban đầu Cần nghiên cứu tiếp công nghệ CMM để đảm bảo độ xác cần thiết 67 68 69 70 Tài liệu tham khảo Nguyễn Thị Xuân Bảy(2001), Kỹ thuật đo lờng- kiểm tra chế tạo khí, nhà xuất KHKT, 70 Trần Hng Đạo Nguyễn Đức Quý, Nguyễn Công Cát(2002), Giáo trình máy đo ba chiều, Trờng ĐHCN Hà Nội Vũ Toàn Thắng (1997), Đồ án tốt nghiệp, Máy xác K37 Tiêu chuẩn ISO 10 360-2 Leitz(2003), A brief introduction into ISO 10 360, tr.3-12 Software Matercam Version 5.0 Handbook of Dimensional Measuament Industrial press in -200 Madision, Avenue, New York, N.Y 10157 71 ... số liệu đo * Nghiên cứu công nghệ đo máy đo ba tọa độ CMM * Thực nghiệm công nghệ đo kích thớc thẳng mẫu kích thớc đờng kính bạc máy CMM 21 Chơng II Phơng pháp xử lý số liệu đo máy đo CMM 2.1... số liệu đo máy CMM Đây phép đo gián tiếp nên độ xác chi tiết đo phụ thuộc vào công nghệ đo, phơng chạm đầu đo, khả xử lý số liệu máy CMM độ xác máy Trong hệ thống đo CMM hệ thống đo dùng máy tính... thông dụng máy đo tay (đầu đo đợc dẫn động tay) máy đo CNC ( đầu đo đợc điều khiển tự động chơng trình số) Máy đo tọa độ thờng máy đo phơng chuyển vị đo X,Y,Z Bàn đo đợc làm đá granít Đầu đo đợc