1. Trang chủ
  2. » Luận Văn - Báo Cáo

Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí

75 18 0

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

THÔNG TIN TÀI LIỆU

Thông tin cơ bản

Tiêu đề Nghiên Cứu Sự Ảnh Hưởng Của Nhiệt Độ Đốt Nóng Bề Mặt Đến Tính Chất Cảm Biến Sóng Âm Bề Mặt Ứng Dụng Đo Khí
Tác giả Nguyễn Việt Phương
Người hướng dẫn PGS. TS. Hoàng Sĩ Hồng
Trường học Trường Đại Học Bách Khoa Hà Nội
Chuyên ngành Kỹ Thuật Điều Khiển Và Tự Động Hoá
Thể loại Luận Văn Thạc Sĩ
Năm xuất bản 2016
Thành phố Hà Nội
Định dạng
Số trang 75
Dung lượng 2,96 MB

Nội dung

Ngày đăng: 12/05/2022, 10:00

Nguồn tham khảo

Tài liệu tham khảo Loại Chi tiết
[1] Đỗ Đăng Trung (2010), “nghiên cứu chế tạo ZnO nanorod bằng phương pháp nhiệt thủy phân, ứng dụng cho cảm biến nhạy khí” luận văn thạc sĩ. Trường ĐHBK Hà Nội. pp 12- 43 Sách, tạp chí
Tiêu đề: nghiên cứu chế tạo ZnO nanorod bằng phương pháp nhiệt thủy phân, ứng dụng cho cảm biến nhạy khí
Tác giả: Đỗ Đăng Trung
Năm: 2010
[2] Jose Mugel (2003), Thin films for gas sensor, Departmento de Fisica- Universidade do minho Sách, tạp chí
Tiêu đề: Thin films for gas sensor
Tác giả: Jose Mugel
Nhà XB: Departmento de Fisica- Universidade do minho
Năm: 2003
[3] Nguyen Manh Linh, Tran Thi Thuy Dung and Hoang Si Hong (2012), “Fabrication ZnO nanorods grown on ZnO seed layer for Surface acoustic wave chemical sensors”, pp 148-152, ICAMN. (procceding of international conferences) ISBN: 978-604-911-247-8 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Fabrication ZnO nanorods grown on ZnO seed layer for Surface acoustic wave chemical sensors
Tác giả: Nguyen Manh Linh, Tran Thi Thuy Dung, Hoang Si Hong
Nhà XB: ICAMN
Năm: 2012
[4] Liu Li, Zhang Tong, Wang Zhi-Jun, Li Shou-Chun, Tian Yun-Xia and Li Wei (2009), “High Performance Micro-Structure Sensor Based on TiO 2 Nanofibers for Ethanol Detection”, Chinese Physics Letters, Volume 26, Number 9 Sách, tạp chí
Tiêu đề: High Performance Micro-Structure Sensor Based on TiO2Nanofibers for Ethanol Detection
Tác giả: Liu Li, Zhang Tong, Wang Zhi-Jun, Li Shou-Chun, Tian Yun-Xia and Li Wei
Năm: 2009
[5] Marta Radecka, Marcin Jasi_Ski, Joanna Klich-Kafel, Mieczys_Aw R_Kas, Barbara Yso, Adam Czapla, Maria Lubecka, Mariusz Soko_Owski, Katarzyna Zakrzewska, Andre Heel, Thomas J. Graule (2010), “TiO2-based Nanopowders for Gas Sensor”, Materia£Y Ceramiczne /Ceramic Materials/, 62, 4, 545-549 Sách, tạp chí
Tiêu đề: TiO2-based Nanopowders for Gas Sensor
Tác giả: Marta Radecka, Marcin Jasi_Ski, Joanna Klich-Kafel, Mieczys_Aw R_Kas, Barbara Yso, Adam Czapla, Maria Lubecka, Mariusz Soko_Owski, Katarzyna Zakrzewska, Andre Heel, Thomas J. Graule
Nhà XB: Materia£Y Ceramiczne /Ceramic Materials/
Năm: 2010
[6] A.Yüce, B. Saruhan (2012), “Al-doped TiO2 semiconductor gas sensor for NO2-detection at elevated temperatures”, IMCS 2012 – The 14th International Meeting on Chemical Sensors Sách, tạp chí
Tiêu đề: Al-doped TiO2 semiconductor gas sensor for NO2-detection at elevated temperatures
Tác giả: A. Yüce, B. Saruhan
Nhà XB: IMCS 2012 – The 14th International Meeting on Chemical Sensors
Năm: 2012
[7] Lin H.M., Hsu C.M., Yang N.Y., Lee P.Y., C.C Yang (1994), Nanocrystalline WO3-based H2S sensors, Sens. Actuat. B, 22, p. 63-68 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Nanocrystalline WO3-based H2S sensors
Tác giả: Lin H.M., Hsu C.M., Yang N.Y., Lee P.Y., C.C Yang
Nhà XB: Sens. Actuat. B
Năm: 1994
[8] Kennedy M. (2004), Investigation of tin oxyde (SnOx) gas sensors based on monodisperse nanoparticle films, Dissertation, Der Fakultat fur Ingenieurwissenschaften der Universit¨at Duisburg-Essen Sách, tạp chí
Tiêu đề: Investigation of tin oxyde (SnOx) gas sensors based on monodisperse nanoparticle films
Tác giả: Kennedy M
Nhà XB: Der Fakultat fur Ingenieurwissenschaften der Universit¨at Duisburg-Essen
Năm: 2004
[9] Z. Fan, D. Wang, P. Chang, W. Tseng, J. G. Lu. (2004), “ZnO nanowire fieldeffect transistor and oxygen sensing property”, Appl. Phys. Lett, Vol 85, pp. 5923- 5926 Sách, tạp chí
Tiêu đề: ZnO nanowire fieldeffect transistor and oxygen sensing property
Tác giả: Z. Fan, D. Wang, P. Chang, W. Tseng, J. G. Lu
Nhà XB: Appl. Phys. Lett
Năm: 2004
[10] Q. Wan, Q. H. Li, Y. J. Chen, T. H. Wang, X. L. He, J. P. Li, C. L. Lin. (2004), “Fabrication and etanol sensing characteristics of ZnO nanowires gas sensors”, Appl. Phys. Lett, Vol 84, pp. 3654-3657 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Fabrication and etanol sensing characteristics of ZnO nanowires gas sensors
Tác giả: Q. Wan, Q. H. Li, Y. J. Chen, T. H. Wang, X. L. He, J. P. Li, C. L. Lin
Nhà XB: Appl. Phys. Lett
Năm: 2004
[11] Madhusudhana Reddy M.H., Chandorkar A.N. (1999), E. Beam deposited SnO2, Pt-SnO2 and Pd-SnO2 thin film for LPG detection, Thin solid films, 349, p. 60-265 Sách, tạp chí
Tiêu đề: E. Beam deposited SnO2, Pt-SnO2 and Pd-SnO2 thin film for LPG detection
Tác giả: Madhusudhana Reddy M.H., Chandorkar A.N
Nhà XB: Thin solid films
Năm: 1999
[12] Y.J. Lee, H.B. Kim, Y.R. Roh, H.M. Cho, S. Baik (1997), “Development of a SAW gas sensor for monitoring SO2 gas”, Sensors and Actuators A 64, 173- 178 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Development of a SAW gas sensor for monitoring SO2 gas
Tác giả: Y.J. Lee, H.B. Kim, Y.R. Roh, H.M. Cho, S. Baik
Nhà XB: Sensors and Actuators A
Năm: 1997
[13] T.-L. Chin, D.W. Greve, P. Ohodnicki, J. Baltrus, I.J. Oppenheim (2012), “Effect of buffer layers in ZnO/ langasite and SnO2/ langasite SAW gas sensors”, IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings Sách, tạp chí
Tiêu đề: Effect of buffer layers in ZnO/ langasite and SnO2/ langasite SAW gas sensors
Tác giả: T.-L. Chin, D.W. Greve, P. Ohodnicki, J. Baltrus, I.J. Oppenheim
Nhà XB: IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings
Năm: 2012
[14] Ling-min Yu, Fen Guo, Zong-yuan Liu, Sheng Liu, Bing Yang, Ming-Li Yin, Xin-hui Fan (2015), “Facile synthesis of three dimensional porous ZnO films with mesoporous walls and gas sensing properties”, Materials Characterization Sách, tạp chí
Tiêu đề: Facile synthesis of three dimensional porous ZnO films with mesoporous walls and gas sensing properties
Tác giả: Ling-min Yu, Fen Guo, Zong-yuan Liu, Sheng Liu, Bing Yang, Ming-Li Yin, Xin-hui Fan
Năm: 2015
[15] Jie Hu, Fanqin Gao, Zhenting Zhao, Shengbo Sang, Pengwei Li, Wendong Zhang, Xiongtu Zhou, Yong Chen (2016), “Synthesis and characterization of Cobalt-doped ZnO microstructuresfor methane gas sensing”, Applied Surface Science 363, 181–188 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Synthesis and characterization of Cobalt-doped ZnO microstructuresfor methane gas sensing
Tác giả: Jie Hu, Fanqin Gao, Zhenting Zhao, Shengbo Sang, Pengwei Li, Wendong Zhang, Xiongtu Zhou, Yong Chen
Nhà XB: Applied Surface Science
Năm: 2016
[16] Y. Wu, X. Li, H. Liu, L. M. Yu, X. D. Hu (2012), “ZnO nanomaterials based surface acoustic wave ethanol gas sensor”, J Nanosci Nanotechnol,6505-9 Sách, tạp chí
Tiêu đề: ZnO nanomaterials based surface acoustic wave ethanol gas sensor
Tác giả: Y. Wu, X. Li, H. Liu, L. M. Yu, X. D. Hu
Năm: 2012
[18] Dutta S. (2009), “Role of defects in tailoring structural, electrical and optical properties of ZnO”, Progress in Materials Science, 54, p. 89–136 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Role of defects in tailoring structural, electrical and optical properties of ZnO
Tác giả: Dutta S
Nhà XB: Progress in Materials Science
Năm: 2009
[19] Do P.L., Nguyen D.C. (2004), “Study of gas-diffusion in SnO2 gas sensing thin film”, Communication in Physics, 14, 3, p. 140-145 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Study of gas-diffusion in SnO2 gas sensing thin film
Tác giả: Do P.L., Nguyen D.C
Năm: 2004
[20] Ghimbeu C. Matei, Landschoot R. C. van, Schoonman J., Lumbreras M., (2007), Preparation and characterization of SnO2 and Cu-doped SnO2 thin films using electrostatic spray deposition (ESD). Journal of the European Ceramic Socitety, 27, p. 207-213 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Preparation and characterization of SnO2 and Cu-doped SnO2 thin films using electrostatic spray deposition (ESD)
Tác giả: Ghimbeu C. Matei, Landschoot R. C. van, Schoonman J., Lumbreras M
Nhà XB: Journal of the European Ceramic Society
Năm: 2007
[21] Tournier G., Pijolat C., Lalauze R., Patissier B. (1995)., Selective detection of CO and CH4 with gas sensors using SnO2 doped with palladium, Sensors and Actuators B, 26, 27, 24-28 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Selective detection of CO and CH4 with gas sensors using SnO2 doped with palladium
Tác giả: Tournier G., Pijolat C., Lalauze R., Patissier B
Nhà XB: Sensors and Actuators B
Năm: 1995

HÌNH ẢNH LIÊN QUAN

Hình 1.2. Thời gian hồi đáp và thời gian hồi phục của cảm biến hoá học SAW - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.2. Thời gian hồi đáp và thời gian hồi phục của cảm biến hoá học SAW (Trang 16)
Hình 1.3. Bề mặt cắt ngang và bề mặt cấu trúc cảm biến khí SAW [3]. - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.3. Bề mặt cắt ngang và bề mặt cấu trúc cảm biến khí SAW [3] (Trang 17)
Hình 1.4. Cơ cấu SAW đơn giản với một IDT [3] - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.4. Cơ cấu SAW đơn giản với một IDT [3] (Trang 18)
Trong bảng 1.1 tổng kết một số kết quả nghiên cứu về TiO2 gần đây trên thế giới. - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
rong bảng 1.1 tổng kết một số kết quả nghiên cứu về TiO2 gần đây trên thế giới (Trang 22)
Hình 1.6. Đặc trưng độ nhạy với NO2 của vật liệu dây nano In2O3. - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.6. Đặc trưng độ nhạy với NO2 của vật liệu dây nano In2O3 (Trang 23)
Hình1.7. Đặc trưng nhạy khí của dây nano SnO2 với CO [9]. - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.7. Đặc trưng nhạy khí của dây nano SnO2 với CO [9] (Trang 24)
Bảng 1.2. Một số tính chất cơ bản của vật liệu ZnO - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Bảng 1.2. Một số tính chất cơ bản của vật liệu ZnO (Trang 25)
Hình 1.8. Các dạng cấu trúc của ZnO (a) rocksalt (b) zinc blend và (c) - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.8. Các dạng cấu trúc của ZnO (a) rocksalt (b) zinc blend và (c) (Trang 27)
Hình 1.9. (a) Đặc tuyến I-V của sợi ZnO nanowire dưới nồng độ O2 50 ppm. - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.9. (a) Đặc tuyến I-V của sợi ZnO nanowire dưới nồng độ O2 50 ppm (Trang 31)
Bảng 1.4. Một vài vật liệu và ứng dụng của sợi nano trong kỹ thuật cảm biến - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Bảng 1.4. Một vài vật liệu và ứng dụng của sợi nano trong kỹ thuật cảm biến (Trang 32)
hình Schottky. Độ phủ bề mặt tối đa cho khí oxy được tính toán từ giới hạn Weisz là khoảng 1012 tới 1013 phân tử trên 1 cm2 - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
h ình Schottky. Độ phủ bề mặt tối đa cho khí oxy được tính toán từ giới hạn Weisz là khoảng 1012 tới 1013 phân tử trên 1 cm2 (Trang 40)
Hình 1.12. Hình mô tả sự thay đổi điện trở khi màng đặt trong môi trường khí cần - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.12. Hình mô tả sự thay đổi điện trở khi màng đặt trong môi trường khí cần (Trang 42)
Hình 1.13. Biểu diễn độ nhạy của các loại khí khác nhau ở các nhiệt độ khác - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 1.13. Biểu diễn độ nhạy của các loại khí khác nhau ở các nhiệt độ khác (Trang 43)
Hình 2.2. Cảm biến SAW dựa trên cơ sở vật liệu ZnO với AlN/Si sau khi được - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 2.2. Cảm biến SAW dựa trên cơ sở vật liệu ZnO với AlN/Si sau khi được (Trang 46)
Hình 2.3. Sơ đồ cấu tạo của lò vi nhiệt - Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đốt nóng bề mặt đến tính chất cảm biến sóng âm bề mặt ứng dụng đo khí
Hình 2.3. Sơ đồ cấu tạo của lò vi nhiệt (Trang 46)

TÀI LIỆU CÙNG NGƯỜI DÙNG

TÀI LIỆU LIÊN QUAN

w