.c om cu u du o ng th an co ng Download Tài liệu, giảng, tập đề thi năm trước địa chỉ: https://goo.gl/YjpcKk Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com https://fb.com/tailieudientucntt Chương 1: co ng c om Trường ĐH Khoa học Tự nhiên Tp.HCM Khoa Khoa học Vật liệu cu u du o ng th an Giới thiệu lĩnh vực màng mỏng Phạm Văn Việt (pvviet@hcmus.edu.vn) Năm 2016 Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com https://fb.com/tailieudientucntt .c om Nội dung: co an 1.2 Các khái niệm ng 1.1 Giới thiệu ng th 1.3 Các ứng dụng u du o 1.4 Các bước tiến hành cu 1.5 Câu hỏi tập Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com https://fb.com/tailieudientucntt 1.1 Giới thiệu du o ng th an co ng c om Có 4.810.000 kết (0,86 giây) với từ khóa “vat ly mang mong” 23.000.000 kết (0,38 giây) với từ khóa “thin film physics” cu u BM Vật liệu Nano & Màng mỏng: Nghiên cứu chế tạo loại màng mỏng có cấu trúc micro nano nhằm ứng dụng nhiều lĩnh vực Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com https://fb.com/tailieudientucntt cu u du o ng th an co ng c om 1.1 Giới thiệu – Lịch sử Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com https://fb.com/tailieudientucntt cu u du o ng th an co ng c om 1.1 Giới thiệu – Lịch sử Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com https://fb.com/tailieudientucntt cu u du o ng th an co ng c om 1.1 Giới thiệu – Lịch sử Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com https://fb.com/tailieudientucntt cu u du o ng th an co ng c om 1.1 Giới thiệu Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com https://fb.com/tailieudientucntt cu u du o ng th an co ng c om 1.1 Giới thiệu Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com https://fb.com/tailieudientucntt .c om Nội dung: ng 1.1 Giới thiệu an th ng 1.3 Các ứng dụng co 1.2 Các khái niệm u du o 1.4 Các bước tiến hành cu 1.5 Câu hỏi tập Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 10 https://fb.com/tailieudientucntt Phương pháp đo số tính chất màng mỏng từ tính Nhược điểm: c om Ưu điểm: cu u du o ng th an co ng • Mẫu khơng thiết phải • Nếu từ trường mũi dò chất dẫn điện mạnh làm thay đổi đơmen từ bề • Có khả phân tích cấu mặt mẫu trúc từ mà khơng địi hỏi phá hủy hay xử lý mẫu • MFM ghi ảnh dựa vào tượng qt nên khả ghi • Khơng địi hỏi phải kĩ thuật ảnh chậm Đồng thời, việc xử lí mẫu hay bao phủ ghi ảnh tức thời đặc biệt trình từ hóa MFM • MFM dùng máy STM hay AFM Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 243 https://fb.com/tailieudientucntt ng co cu u du o ng th an • Các màng mỏng từ ứng dụng nhiều phận ổ đĩa cứng đĩa từ (platter),trong đầu đọc/ghi, cảm biến, dẫn động… c om Ứng dụng màng mỏng từ Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 244 https://fb.com/tailieudientucntt Ứng dụng màng mỏng từ c om Ứng dụng cảm biến (sensors) cu u du o ng th an co ng -Các màng mỏng từ dùng cảm biến thường màng mỏng từ mềm làm từ vật liệu NiFe81/19 -Các cảm biến từ trường ứng dụng hiệu ứng GMR Trong trường hợp đó, yêu cầu chuyển mạch (sandwitches) mỏng chứa vật liệu sắt từ (NiFe81/19, Co) vật liệu phản sắt từ (CoCrPt) Độ dày màng thường vài chục nanometre Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 245 https://fb.com/tailieudientucntt Ứng dụng màng mỏng từ cu u du o ng th an co ng c om Ứng dụng cảm biến (sensors) Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 246 https://fb.com/tailieudientucntt Ứng dụng màng mỏng từ cu u du o ng th an co ng c om Ứng dụng cảm biến (sensors) Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 247 https://fb.com/tailieudientucntt Ứng dụng màng mỏng từ c om Ứng dụng dẫn động (actuators) cu u du o ng th an co ng Các màng mỏng từ dùng dẫn động gồm màng mỏng từ cứng màng mỏng từ mềm Các vật liệu thường dùng SmCo83/17, CoP Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 248 https://fb.com/tailieudientucntt Ứng dụng màng mỏng từ Đĩa từ phủ lớp màng mỏng từ làm từ vật liệu NiP, hợp chất Co Các màng mỏng thường phủ lên đế thủy tinh phương pháp mạ phún xạ cu u du o ng th an co ng c om Trong đĩa từ (platter) Một đĩa từ phủ màng mỏng 5.25”(phía trên) cạnh đĩa từ phủ oxide 5.25”(phía dưới) Đĩa từ phủ màng mỏng phản xạ thật mạnh, chụp hình chúng giống chụp hình gương Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 249 https://fb.com/tailieudientucntt Ứng dụng màng mỏng từ cu u du o ng th an co ng c om Trong đầu đọc/ghi Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 250 https://fb.com/tailieudientucntt cu u du o ng th an co ng c om Ứng dụng màng mỏng từ Quá trình ghi từ Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 251 https://fb.com/tailieudientucntt Ứng dụng màng mỏng từ ng th an co ng c om Hướng phát triển cu u du o •Hiện nay, xu tập trung nâng cao mật độ ghi từ (phổ biến 100 Gb/in2) nâng đến Tb/in2 cách ghi vng góc với bề mặt màng giảm Vật lý Màng mỏng kích thước bit từ CuuDuongThanCong.com 252 https://fb.com/tailieudientucntt PMR( Perpendicular Magnetic Recording) kĩ thuật ghi liệu đĩa cứng du o ng th an co ng PMR c om Ứng dụng màng mỏng từ -Được chứng minh năm 1976 S.Iwasaki ứng dụng thương mại HDD năm 2005 cu u -Có thể tăng mật độ lưu trữ liệu lên đến gấp nhiều lần so với kĩ thuật truyền thống Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 253 https://fb.com/tailieudientucntt Ứng dụng màng mỏng từ PMR cu u du o ng th an co ng c om Lớp ghi từ bên màng mỏng từ cứng, lớp bên màng mỏng từ mềm Một lớp trung gian đưa vào hai lớp đóng vai trị điều khiển trục dễ từ hóa, đường kính hạt, tính chất tinh thể lớp ghi đồng thời điều khiển tương tác từ hai lớp từ Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 254 https://fb.com/tailieudientucntt cu u du o ng th an co ng c om Ứng dụng màng mỏng từ Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 255 https://fb.com/tailieudientucntt co an th cu u du o ng • Sử dụng màng cứng [Co/PdSi]n màng từ mềm FeSi/O, màng trung gian PdSi =>có thể tạo mơi trường ghi từ với Ku cao với tính ổn định nhiệt thấp [1] • Sử dụng Ru/RuTa làm màng trung gian màng từ cứng CoCrPt-SiO2 [2] làm giảm độ dày lớp màng trung gian -> làm giảm không hợp mạng hai lớp ng PMR c om Ứng dụng màng mỏng từ Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 256 https://fb.com/tailieudientucntt cu u du o ng th an co ng c om Hết Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 257 https://fb.com/tailieudientucntt ... p-n? Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com 32 https://fb.com/tailieudientucntt Vật liệu màng có tính chất so với vật liệu khối loại? Giải thích? Nêu ví dụ phân tích cụ thể (VD: màng mỏng Si vật liệu. .. khóa “thin film physics” cu u BM Vật liệu Nano & Màng mỏng: Nghiên cứu chế tạo loại màng mỏng có cấu trúc micro nano nhằm ứng dụng nhiều lĩnh vực Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com https://fb.com/tailieudientucntt... film): gồm lớp vật liệu th an chế tạo lớp đế ng Tính chất màng tạo từ lớp vật liệu (và du o ảnh hưởng tác động từ lớp đế) cu u Ví dụ: Màng ZnO, TiO2, TiN, Ta2O5, V2O5,… Vật lý Màng mỏng CuuDuongThanCong.com